晶体材料

. 负荷特性

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    近年来，各种晶体材料特别是以单晶硅、铸锭硅、高纯硅为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。常用的负载炉型有：单晶炉、真空炉、多晶炉、中频炉等。其生产工艺通常分为熔融加热和直流加热，熔融加热多采用中频加热炉，直拉式单晶多采用直流加热炉。但不论是中频炉还是单晶炉均采用半导体可控整流方式，会产生非常大的电流谐波，对电网造成谐波污染，使得精密仪器精度失准甚至误动作，破坏了系统的无功补偿，造成系统供电损耗的增加及损坏补偿电容器等，对于单晶硅复杂的生产过程以及后期的精密加工流程都造成非常大的影响，因此电网的品质间接决定着成品材料的品质，几乎所有的单晶硅制造生产线都面临谐波问题。

■  单晶炉

●  负荷特性

◆  负载谐波含量大。总失真度高达30%，但主要集中在5、7、11、13、17、19次，其中又以5、7、11次最为严重。

◆  属于波动性负载，波动迅速频繁；运用传统的无源滤波器根本满足不了快速跟踪的要求；

◆  功率因数较低，一般0.8左右；

■  中频炉

●  负荷特性

◆  负载谐波含量大，总失真度最高达到了30%以上；

◆  基本上属于稳定负载，仅在出炉、升温时有波动，谐波主要集中在5、7、11、13、17、19、23次，其中又以5、7、11次最为严重

◆  中频炉一般运行在1KHz～2KHz，因此谐波的频谱范围很宽，不仅存在大量低次谐波，如5、7、11次等，大于25次的高次谐波也大量存在，具体表现在系统电压上含有大量毛刺；

◆  功率因数非常低，一般在0.7左右，面临高额无功罚款；

◆  中频电源的前级整流电路在换流时刻会产生很大的电压缺口，失真度严重超标，供电电源质量很差；